先进光学技术开发
绝对测量
- 基于图像处理的绝对尺寸测量
- 通过检测器获取亮度值进行信号处理，以提取边界像素
先进光学技术开发
高度测量
- 白光扫描干涉仪中的干涉信号采取原理
- 两个路径的差异( 2(d2-d1)为波长的整数倍时发生增强干涉
- 则, 当测量镜(Moving mirror)与参考镜(Fixed Mirror)之间的距离差(d1-d2)是光的半波长(λ/2)的整数倍时，会发生增强干涉
先进光学技术开发
光谱分析
- 通过光谱分析测量透明薄膜厚度
- 比较不同波长的反射率信号（测量信号与建模信号进行非线性拟合）测量透明薄膜的厚度
先进光学技术开发
AI
- 结合人工智能，利用高分辨率图像与深度学习算法，实现微小缺陷的检测
- 表面外观检查：碰伤、划痕、微小异物、突出等
- 基于Rule 2D+3D 同时测量
先进光学技术开发
Motion Stage 技术
- Stage Moving, Gantry Moving, Counter-Mass, Multi Gantry type 开发完成
- 为提高生产力确保各种Stage 技术