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半导体/PCB
PCB制造工序表面缺陷检测设备(表面检测/SR及镀金检测)
接收AOI确定的基板缺陷位置坐标,拍摄特定图像的设备
采用白光干涉原理的三维表面测量设备
利用白光干涉原理进行三维表面形状测量-微小图案的高度差和CD测量