二次电池电极工艺
湿法工艺
- 二次电池电极工艺设备根据全球趋势进行高端技术开发
- Hybrid Drying Coater 开发完成
二次电池电极工艺
干法工艺
- 下一代电池全固态和LFP电池用干法涂布设备开发
二次电池电极工艺
全固态材料与工艺设备
- 全固态电解质涂布设备与固体粉末压制技术开发
- 硫化物固态电解质材料开发与量产
显示器沉积工艺
Source 来源
- Point Source : 均匀沉积及易于控制速率的点形蒸发源开发
- Linear Source : 大面积基板均匀沉积及易于控制速率的点形蒸发源开发
- 高分辨率 Micro OLED用 Source : 采用最小化掩膜影像技术适用于Wafer 基板 ，易于高分辨率沉积的特殊蒸发源
显示器沉积工艺
Aligner
- 高分辨率光学系统用于精确 Alignement
- 用于稳定 Alignement，先进技术融入的Stage 系统
- 应用自主算法的最佳Alignement 软件系统
显示器沉积工艺
QCM(Quartz Crystal Microbalance)
- 精确测量极微小质量变化的技术
- 用于稳定蒸发源速率控制的QCM传感器系统
- 通过工艺仿真优化的最佳OLED沉积系统配置