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三维表面形状测量设备 (Glass)

利用白光干涉原理进行三维表面形状测量-微小图案的高度差和CD测量

Multi Head
1~16 (EA)

基板适用范围
100~3000 (mm)

High technology

High technology

  • 非接触三维表面测量
  • 高速测量
  • Multi Head (Max 16), 可配置复合式 Head结构
Application

Application

  • 在 CF/Cell/TFT 工艺中,测量 PS 高度及 RGB 高度差
  • COA Via Hole 深度与高度差, Overlay 等