先端光学技術の開発
絶対測定
- 画像処理を用いた絶対寸法測定
- 境界画素抽出のための検出器から検出された輝度値の信号処理
先端光学技術の開発
高さ測定
- 白色光走査干渉計における干渉信号取得の原理
- 2つの経路の差( 2(d2-d1が波長の整数倍になる場合に強め合う干渉が発生
- すなわち、測定ミラー(Moving mirror)と基準ミラー(Fixed Mirror)間の距離差(d1-d2)が光の半波長(λ/2)の整数倍になる場合に強め合う干渉が発生
先端光学技術の開発
分光分析
- 光分析を用いた透明薄膜の厚さ測定
- 波長に応じた反射率信号を比較(測定された信号 とモデリングされた信号を非線形フィッティング) して透明薄膜の厚さを測定
先端光学技術の開発
AI
- AIを組み込み、高解像度画像およびディープラーニングアルゴリズムを活用して微細欠陥を検出
- 表面外観の打痕、擦り傷、微細異物、突起などの検査
- Rule ベースによる 2D+3D 同時計測
先端光学技術の開発
Motion Stage 技術
- Stage Moving, Gantry Moving, Counter-Mass, Multi Gantry type 開発完了
- 生産性向上のための多様なStage技術を確保