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事業内容
ディスプレイ
白色光干渉測定原理を利用した三次元表面形状測定装置 ― 微細パターンの段差およびCDの測定
Module 複合測定装置
Array/TFT工程において、コーティング量・露光量・エッチング量などの工程条件最適化のため、ハーフトーンとCDを同時に測定
非接触式三次元表面測定原理の研究・分析用装置
真空方式による有機・無機材料の成膜システムを用い、高品質なOLEDを生産可能な設備