二次電池電極プロセス
湿式工程
- 二次電池電極工程装置の Global Trendに合わせた高度化技術開発
- Hybrid Drying Coater 開発完了
二次電池電極プロセス
乾式工程
- 次世代バッテリーである全固体、LFPバッテリー用乾式コーティング装置の開発
二次電池電極プロセス
全固体素材および工程装置
- 全固体電解質コーティング装置および固体粉末圧着技術の開発
- 硫化物系固体電解質素材の開発および量産
ディスプレイ成膜プロセス
Source
- Point Source : 均一な蒸着およびRate 制御が容易な点状蒸発源の開発
- Linear Source : 大面積基板に対する均一な蒸着およびRate제어制御が容易な線状蒸発源の開発
- 高解像度 Micro OLED用 Source : Wafer 基板に対してシャドウを最小化する技術により高解像度蒸着に適した特殊蒸発源
ディスプレイ成膜プロセス
Aligner
- 精密なAlignementのための高解像度光学システム
- 安定した Alignementのための先進技術を組み込んだStage システム
- 独自のアルゴリズムを適用した最適なAlignement ソフトウェアシステム
ディスプレイ成膜プロセス
QCM(Quartz Crystal Microbalance)
- 非常に微細な質量変化を精密に測定する技術
- 蒸発源の安定したRate 制御に必要なQCM センサーシステム
- 工程シミュレーションを通じた最適なOLED 蒸着システムの構築