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事業内容
半導体/PCB
PCB製造工程における表面欠陥検査装置 (表面検査/SRおよび金めっき検査)
AOIで検出された基板の欠陥位置の座標を受け取り、特定の画像を撮像する装置
白色干渉測定原理を用いた三次元表面測定装置
白色光干渉測定原理を利用した三次元表面形状測定装置 ― 微細パターンの段差およびCDの測定