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微細線幅 & 厚さ複合測定装置

Array/TFT工程において、コーティング量・露光量・エッチング量などの工程条件最適化のため、ハーフトーンとCDを同時に測定

2D & 3D 測定可能

リアルタイムモニタリングによる工程安定化および歩留まり向上

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High technology

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  • 回の測定でCD／厚さ／高さを同時に測定可能
  • ナノレベルの分解能・高速測定
Application

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  • Halfton 厚さ、 Overlay, Hole, PR, ITO, Slit 線幅測定など