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3次元表面形状測定装置 (Glass)

白色光干渉測定原理を利用した三次元表面形状測定装置 ― 微細パターンの段差およびCDの測定

Multi Head
1~16 (EA)

基板対応
100~3000 (mm)

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High technology

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  • 非接触三次元表面測定
  • 高速測定
  • Multi Head (Max 16)　複合 Head の構成が可能
Application

Application

  • CF/Cell/TFT 工程における PS 高さおよび RGB 段差
  • COA Via Hole の深さおよび段差, Overlay など