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3次元表面形状測定装置(手動/自動) R&D

非接触式三次元表面測定原理の研究・分析用装置

非接触3次元表面測定

ナノレベルの分解能

High technology

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  • 非接触式三次元表面測定
  • ナノレベルの分解能
Application

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  • 微細Patternの 3D 段差、薄膜厚さ、CD測定など