Source Type
Point / One nozzle / Linear
超精密 Align accuracy
High technology
- 自社開発の高精度な成膜ソースおよびセンサー構成
- リアルタイムモニタリングシステム
- センサー自動点検プログラム
Process performance
- 顧客要求レベルの基板均一性を提供
- 成膜速度の安定性
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事業内容
ディスプレイ
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Point / One nozzle / Linear
超精密 Align accuracy
High technology
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