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高さ測定
- 白色光走査干渉計における干渉信号取得の原理
- 2つの経路の差( 2(d2-d1が波長の整数倍になる場合に強め合う干渉が発生
- すなわち、測定ミラー(Moving mirror)と基準ミラー(Fixed Mirror)間の距離差(d1-d2)が光の半波長(λ/2)の整数倍になる場合に強め合う干渉が発生