첨단 광학기술
절대치수 측정
- 영상 처리를 통한 절대 치수 측정
- 디텍터로부터 감지된 빛의 밝기값을 신호처리하여 경계 픽셀 추출
첨단 광학기술
높이 측정
- 백색광 주사 간섭계에서의 간섭 신호 획득 원리
- 두 경로의 차이 2(d2-d1)가 파장의 정수배가 되는 경우에 보강 간섭이 발생
- 즉, 측정 거울(Moving mirror)과 기준 거울 (Fixed Mirror)간의 거리 차이(d1-d2)가 빛의 반파장(λ/2)의 정수배가 되는 경우에 보강 간섭이 발생
첨단 광학기술
분광 분석
- 분광 분석을 통한 투명 박막 두께 측정
- 파장에 따른 반사도 신호를 비교 (측정된 신호와 모델링된 신호를 비선형 피팅)하여 투명 박막 두께 측정
첨단 광학기술
AI
- AI를 접목하여 고해상도 이미지 및 딥러닝 알고리즘 활용으로 미세 결함 검출
- 표면 외관 찍힘, 긁힘, 미세 이물, 돌출 등 검사
- Rule 기반 2D+3D 동시 계측
첨단 광학기술
Motion Stage 기술
- Stage Moving, Gantry Moving, Conter-Mass, Multi Gantry type 개발 완료
- 생산성 향상을 위한 다양한 Stage 기술 확보