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반도체/PCB
Auto Vision Inspection System
Panel 단위로 표면 결함을 검사하는 설비 (표면검사 / SR 및 금도금검사)
Dual Verification Review System
AOI에서 판단한 기판 결함 위치의 좌표를 받아 특정 이미지를 촬상하는 장비
3D Bump Inspection System
백색광 간섭 측정 원리를 이용한 3차원 표면 측정 장비
3D Nano Scan Inspection System
백색광 간섭 측정 원리를 이용한 3차원 표면 형상 측정 – 미세 패턴의 단차 및 CD 측정