측정장비
3차원 표면 형상 측정 장비 (Glass)
Photo Spacer Inspection System
백색광 간섭 측정 원리를 이용한 3차원 표면 형상 측정- 미세 패턴의 단차 및 CD 측정
측정장비
모듈 합착정도 측정 장비
CTQ
OLED 모듈 제조 공정에서 합착 후 치수, 두께 등을 2D+3D로 복합 측정하는 장비
측정장비
미세 선폭 & 두께 복합 측정 장비
Critical Dimension Half Tone
Array/TFT 공정에서 코팅량, 노광량, 엣칭량 등의 공정 조건 최적화를 위해, 하프톤과 CD 동시 측정
측정장비
3차원 표면 형상 측정 장비(수/자동) R&D
SIS
비접촉 3차원 표면 측정 원리의 연구/분석용 장비
