2차전지 전극 공정
습식 공정_Hybrid Drying Coater
- 2차전지 전극 공정 장비의 Global Trend에 맞춘 고도화 기술 개발
- Hybrid Drying Coater 개발 완료
- Pdm (예지보전기술) , 고선압 등 공정 기술 개발 중
2차전지 전극 공정
건식 공정_Dry Coater
- 차세대 배터리인 전고체, LFP 배터리用 건식 코팅 장비 개발
- 건식 배터리 제조를 위한 최적의 솔루션 제공
2차전지 전극 공정
전고체 소재 및 공정 장비
- 전고체 전해질 코팅 장비 및 고체 분말 압착 기술 개발
- 황화물계 고체전해질 소재 개발 및 양산
디스플레이 증착 공정
Source
- Point Source : 균일한 증착 및 Rate 제어가 용이한 점형 증발원 개발
- Linear Source : 대면적 기판에 대한 균일한 증착 및 Rate제어에 용이한 선형 증발원 개발
- 고해상도 Micro OLED용 Source : Wafer 기판에 대한 쉐도우를 최소화 하는 기술로 고해상도 증착에 용이한 특수 증발원
디스플레이 증착 공정
Aligner
- 정밀한 Alignement를 위한 고해상도 광학 시스템
- 안정적인 Alignement를 위한 첨단 기술이 접목된 Stage 시스템
- 자체적인 알고리즘을 적용한 최적의 Alignement 소프트웨어 시스템
디스플레이 증착 공정
QCM(Quartz Crystal Microbalance)
- 매우 미세한 질량 변화를 정밀하게 측정하는 기술
- 증발원의 안정적인 Rate 제어에 필요한 QCM 센서 시스템
- 공정 시뮬레이션을 통한 최적의 OLED 증착 시스템 구성