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미세 선폭 & 두께 복합 측정 장비

Array/TFT 공정에서 코팅량, 노광량, 엣칭량 등의 공정 조건 최적화를 위해, 하프톤과 CD 동시 측정

2D & 3D 측정 가능

실시간 모니터링을 통한 공정 안정화 및 수율 향상

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High technology

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  • 1회 측정으로 CD / 두께 / 높이 동시 측정 가능
  • 나노급 분해능, 고속 측정
Application

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  • Halfton 두께, Overlay, Hole, PR, ITO, Slit 선폭 측정 등