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AOI에서 판단한 기판 결함 위치의 좌표를 받아 특정 이미지를 촬상하는 장비
미세 선폭 확인 가능
고해상도의 선명한 이미지 제공
초고속 모션으로 검사 시간 단축
제품 입출 물류 자동화 구성 가능
High technology
Application
