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증착기(Wafer / Glass)

진공 방식의 유무기물 재료 증착 시스템을 통해 고품질의 OLED를 생산할 수 있는 설비

Source Type
Point / One nozzle / Linear

초정밀 Align accuracy
Retry Count Zero 구현을 위한 광학계 시스템 고도화

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High technology

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  • 자체 개발의 정밀한 증착 소스 및 센서 구성
  • 실시간 모니터링 시스템
  • 센서 자동 점검 프로그램
Process performance

Process performance

  • 고객 요구 수준의 기판 균일도 제공
  • 증착 속도 안정성