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3차원 표면 형상 측정 장비 (PCB)

백색광 간섭 측정 원리를 이용한 3차원 표면 형상 측정 – 미세 패턴의 단차 및 CD 측정

Multi Head 1~16 (EA)

기판 대응 100~3000 (mm)

High technology

High technology

  • 비접촉식 3차원 표면 형상 측정
  • 서브 나노급 수직 분해능, 고속 측정
  • Multi Head 및 복합 Head 구성 (3D Profiler & IR 두께 측정 & Confocal Head & 접촉식 두께 측정)
Application

Application

  • PS 기판(FC BGA, FC CSP), MLB, PLP 기판의 도금, 회로, PSR 공정