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차세대 공정장비 개발

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차세대 공정장비 개발
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QCM(Quartz Crystal Microbalance)

  • 매우 미세한 질량 변화를 정밀하게 측정하는 기술
  • 증발원의 안정적인 Rate 제어에 필요한 QCM 센서 시스템
  • 공정 시뮬레이션을 통한 최적의 OLED 증착 시스템 구성